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Transistor
allgemein
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Geschichte
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Unterscheidung
Transistoren
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Feldeffekttransistoren
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Arten von
Feldeffekttransistoren und Begrenzung auf die 2 gebräuchlichsten
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JFET
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MOSFET
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Bauformen
Transistor allgemein
Ein Transistor ist ein
elektronisches Halbleiterbauelement, welches zum Schalten und Verstärken von
elektrischem Strom verwendet wird. Die Bezeichnung Transistor ist eine Kurzform
für die englische Bezeichnung „Transfer Varistor“, die ihn als einen durch
Strom steuerbaren Widerstand beschreibt.
Die Erfindung des Transistors
wird allgemein auf Dezember 1947 datiert. Beteiligt an der Erfindung waren
William B. Shockley, John Bardeen und Walter Brattain, die 1956 den Nobelpreis
dafür erhielten. In den 1950er Jahren gab es einen Wettlauf zwischen Röhre und
Transistor, in dessen Verlauf die Chancen des Transistors häufig eher skeptisch
beurteilt wurden.

Zuerst wurden Transistoren aus
Germanium hergestellt und ähnlich wie Röhren in winzige Glasröhrchen
eingeschmolzen. Das Germanium wurde später durch Silizium ersetzt.

Wenn man alle Transistoren in
sämtlichen bislang hergestellten Schaltkreisen (dazu gehören Speicher,
Prozessoren usw.) zusammenzählt, ist der Transistor inzwischen diejenige
technische Funktionseinheit, die je von der Menschheit in den höchsten
Gesamtstückzahlen produziert wurde. Laut Gordon Moore, dem Mitbegründer der
Firma Intel, wurden allein im Jahr 2002 eine Trillion Transistoren produziert
Unterschieden werden zwei
Arten von Transistoren
Normale Transistoren haben eine npn- oder
pnp-Schichtenfolge und werden bipolare Transistoren genannt. Bipolare
Transistoren werden durch Stromfluss angesteuert. Deren Anschlüsse werden mit
Basis, Emitter und Kollektor bezeichnet. Ein kleiner Strom auf der
Basis-Emitter-Strecke kann dabei einen großen Strom auf der
Emitter-Kollektor-Strecke steuern.
Bei unipolaren
Transistoren zu denen auch Feldeffekttransistoren (kurz: FET)) gehören,
werden die Anschlüsse als Gate (engl. Tor), Drain (engl. Abfluss), Source
(engl. Quelle) bezeichnet. Der Strom auf der Drain-Source-Strecke wird hier
durch die Spannung zwischen Gate und Source gesteuert. Die Steuerung erfolgt
fast stromlos

Der Feldeffekttransistor ist ein unipolarer Transistor. Unipolar
daher, weil im Gegensatz zum bipolaren Transistor, je nach Typ, entweder nur
Defektelektronen (Löcher) oder Elektronen am Stromtransport beteiligt sind.
Während die Ladungsträgerströme in den bipolaren Transistoren zwei
PN-Übergänge überwinden und damit durch verschiedenleitende Schichten fließen,
findet der Ladungsträgertransport bei den unipolaren Transistoren innerhalb
einer einzigen gleichleitenden Schicht statt. Gesteuert wird der
Ladungsträgerstrom durch elektrische Felder. Deshalb nennt man diese
Bauelemente auch Feldeffekttransistoren.
Das Prinzip des FET ist schon seit Ende der 20er Jahre bekannt,
jedoch kam er erst mit der Beherrschung der Silizium-Halbleitertechnologie zur
Serienreife.
Wie gesagt hat der FET drei Anschlüsse, Source (Zufluss, Quelle),
Gate und Drain (Abfluss). Beim MOSFET ist auch ein vierter Anschluss Bulk
(Substrat) vorhanden. Dieser wird bei Einzeltransistoren bereits intern mit
Source verbunden und nicht extra herausgeführt.
Durch ein elektrisches Feld, hervorgerufen durch eine
Steuerspannung zwischen Gate und Source, wird die Leitfähigkeit des
Source-Drain-Kanals des Feldeffekt-Transistors beeinflusst. Je nach benutztem
Effekt wird unterschieden zwischen MOSFET und JFET (Junction- oder
Sperrschicht-FET). JFETs nutzen einen in Sperrrichtung betriebenen
p-n-Übergang, um das elektrische Feld zu bilden. Theoretisch kann dieser auch
in Flussrichtung betrieben werden, was allerdings den Vorteil der leistungslosen
Ansteuerung zunichte macht.
Der entscheidende schaltungstechnische Unterschied zum bipolaren
Transistor besteht in der bei niedrigen Frequenzen praktisch leistungslosen
Ansteuerung des FET. Es wird lediglich eine Steuerspannung benötigt.
Ein weiterer Unterschied ist der Ladungstransport in dem
unipolaren Source-Drain-Kanal. Diese Tatsache ermöglicht prinzipiell einen
inversen Betrieb des FET, d.h. Drain und Source können vertauscht werden.
Allerdings trifft dies nur auf sehr wenige FETs zu, weil die meisten Typen
sowohl unsymmetrisch aufgebaut als auch die Anschlüsse Bulk und Source intern
verbunden haben.
Zusätzlich kann der unipolare Kanal als Widerstand benutzt werden
und somit nicht nur Gleich-, sondern auch Wechselströme beeinflussen, was unter
anderem bei Dämpfungsschaltungen (Abschwächer, Muting) genutzt wird.
Es gibt folgende
Feldeffekt-Transistoren:

Schottky-Feldeffekt-Transistor (MESFET)
Der MESFET ähnelt im Aufbau dem n-Kanal JFET, jedoch tritt an die
Stelle des p-dotierten Gates ein Gate aus Metall. Dadurch entsteht eine Schottky-Diode,
da das Metall des Gates nun direkt das Halbleitermaterial berührt.
Vorteile: Durch den angrenzenden
Schottky-Übergang ist die Ladungsträgerbeweglichkeit im Kanal ungefähr doppelt
so groß wie bei MOSFETs. Dadurch sind größere Ströme bei gleichen Abmessungen,
sowie höhere Arbeitsfrequenzen möglich.
Anwendung: als Hochfrequenzverstärker
(Mikrowellenbereich)
Ionen-Sensitiver Feldeffekt-Transistor
(ISFET)
Anstelle des metallischen Gate tritt hier eine
Ionensensitive Schicht, die mit einer zu messenden Flüssigkeit in Kontakt
gebracht wird. Je nach Ionenzusammensetzung der Flüssigkeit werden im leitenden
Kanal zwischen Source
und Drain
Ladungsträger verdrängt oder angereichert. Dadurch ändert sich der elektrische
Widerstand, der gemessen werden kann.
Ein ISFET, der selektiv für
Wasserstoffionen ist, lässt sich zur PH-Wert-Bestimmung
einsetzen.
High
Electron Mobility Transistor (HEMT)
Der High Electron Mobility Transistor ist eine spezielle des Bauform für sehr hohe Frequenzen.
Er besteht aus Schichten verschiedener Halbleitermaterialien mit unterschiedlich großen Bandlücken. Häufig wird das Materialsystem Aluminium-Gallium-Arsenid/Gallium-Arsenid verwendet, wobei das AlGaAs hoch n-dotiert und das GaAs nicht dotiert wird. Der HEMT ist für Hochfrequenzanwendungen gut geeignet. Die Steuerung des Bauelementes erfolgt, ähnlich wie beim Schottky-Feldeffekt-Transistor über ein Metallgate, das sich direkt auf den n-AlGaAs befindet.
Organischer Feldeffekttransistor (OFET)
Der Organische Feldeffekttransistor ist ein Feldeffekttransistor, der aus Polymeren aufgebaut ist.
Er besteht, genau wie der
Feldeffekttransistor, aus den drei Anschlüssen Source, Gate
und Drain. Diese liegen auf dem Substrat, das aus PET, PEN
oder PVC-Folie besteht.
Für die leitenden Bauteile kommen die Polymere
Polyanilin, Polythiophen oder Polypara-phenylen in Betracht. Für den Isolator
sind Polymere geeignet.
Neben den All-Organic-OFETs, die vollständig
aus organischen Materialien bestehen, werden auch Transistoren als OFETs
bezeichnet, bei denen nur das aktive Material organisch ist. Hier kommen sowohl
Polymere
als auch kleine Moleküle wie z.B. Pentacen, Tetracen und Oligothiopene zum
Einsatz. Als Substrat werden meist oxidierte Silizium-Wafer verwendet. Drain-
und Source-Elektroden bestehen aus Gold.
Die meistgebräuchlichsten Feldeffekttransistoren sind aber der Sperrschicht-Feldeffekt-Transistor (JFET) und der Metalloxidhalbleiter-Feldeffekt-Transistor (MOSFET) auf die wir im folgenden etwas genauer eingehen wollen.
Beim Sperrschicht-FET (auch
Junction-FET genannt) kann der Kristall N- oder P-leitend sein. Die
Steuerelektrode muß dann die entgegengesetzte Leitfähigkeit haben (P-Leitung
beim N-Kanal-Typ bzw. N-Leitung beim P-Kanal-Typ). Die Betriebs- und
Steuerspannung müssen so gepolt werden, dass die PN-Übergänge gesperrt bleiben.
Die einwirkenden Felder drängen die im Kristall fließenden Ladungsträger mehr
oder weniger stark zusammen und reduzieren damit den Strom. Beim N-Kanal-Typ
ist es ein Elektronenstrom, beim P-Kanal-Typ ein Löcherstrom. Beim N-Kanal-Typ
muß die Steuerelektrode gegenüber der Quellenelektrode auf negativem Potential
liegen, beim P-Kanal-Typ auf positivem Potential.

|
Die
Elektroden werden wie folgt bezeichnet: ·
Source = Quelle, (entspricht Emitter) ·
Gate = Tor, (entspricht Basis) ·
Drain = Abfluß, (entspricht Kollektor) |
Grundsätzlich kann man sich
merken, dass bei Sperrschicht-Feldeffekttransistoren die Source-Gate-Spannung
gegenüber der Source-Drain-Spannung entgegengesetzt gepolt ist. Der Kanal ist von der Gate-Elektrode
teilweise umschlossen. Zwischen Source
und Drain fließt der durch das Gate steuerbare Strom. Durch die entgegengesetzt gepolten Spannungen UGS und
UDS wird erreicht, dass sich die PN-Übergänge im gesperrten Zustand
befinden. Die Größe der Spannung UDS beeinflusst die Breite der
Sperrschicht. Durch sie verändert sich der wirksame Querschnitt des Kanals und
damit auch die Leitfähigkeit der Strecke Drain-Source. Erhöht man die
Gate-Source-Spannung soweit, dass sich die Sperrschichten berühren, dann ist
der Kanal praktisch gesperrt (abgeschnürt). Diese Spannung nennt man Abschnürspannung. Wird die Spannung
wieder verringert, wird der Kanal wieder frei und es kann ein Strom ID fließen.
Dieser Zusammenhang zwischen dem Drainstrom ID und der Steuerspannung UGS wird in
einer Kennlinie verdeutlicht (siehe unten Abb. 1). In ihr ist zusehen, dass bei
-UGS = 6V der Transistor gespperrt ist. Es hat eine Abschnürung des
Kanals stattgefunden. Mit Verringerung dieser Spannung steigt der Drainstrom ID
an, bis bei UGS = 0V der Maximalwert erreicht wird. Der Kanal hat
jetzt seine höchste Leitfähigkeit.
Mit der Steuerkennlinie kann eine Aussage über sie Verstärkung
gemacht werden. Je steiler die Kennlinie ist, desto größer wird die
Stromänderung bei gleich bleibender Spannungsänderung sein. Die Verstärkung ist
dann ebenfalls groß.

Die Beziehung zwischen
Gate-Source-Spannungsänderung und Drainstromänderung wird in einer Kenngröße
zusammengefasst. Sie wird Steilheit S
genannt.
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Die Ausgangskennlinie ist
ebenfalls in Abb. 1 zu sehen. Im Anfangsbereich sind UDS und ID
etwa proportional. Der Transistor verhält sich wie ein Widerstand. Dieser
Bereich wird auch ohmscher Bereich genannt. Er lässt sich in diesem Bereich als
steuerbarer Widerstand einsetzen.
Der zweite Bereich ist
gekennzeichnet durch eine nahezu geradlinigen Verlauf. Eine Spannungserhöhung
zwischen Drain und Source bringt keine nennenswerte Stromänderung. Der Strom
wird durch eine bestimmte Steuerspannung UGS bestimmt. In diesem
Bereich liegt der Arbeitspunkt für Verstärker.
Im dritten Bereich kommt es
aufgrund der hohen Spannung zwischen Drain und Source zu einem Durchbruch
zwischen Drain und Gate. Die Sperrschicht wird abgebaut und die Stromstärke
erhöht sich sprungartig. Es besteht Zerstörungsgefahr. Die Durchbruchsspannung
bei gängigen Sperrschichttransistoren liegt zwischen 20V und 30V.
Die Steuerung des
Sperrschicht-Feldeffekttransistors geschieht bei gesperrten PN-Übergängen. Dementsprechend
gering sind die Eingangsströme. Die Gate-Ströme gängiger
Sperrschicht-Feldeffekttransistoren liegen zwischen 10-8A und 10-12A.
Daraus resultieren hohe Eingangwiderstände von 10GΩ bis 10TΩ.
Der Ausgangswiderstand lässt
sich wie bei bipolaren Transistoren ermitteln. Der Gleichstromwiderstand ist das Verhältnis von UDS zu ID.
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Der differentielle Ausgangswiderstand (Wechselstromwiderstand) ist aus
der Steigung der Kennlinie im Arbeitspunkt ermittelbar.
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Übliche Werte für rDS
bei Sperrschicht-Feldeffekttransistoren liegen zwischen 60kΩ und
250kΩ.
Feldeffekttransistoren
werden häufig im Kleinsignalbereich eingesetzt. Maximale Verlustleistungen von
ca. 200mW bei IDmax ≈ 25mA sind üblich. Es gibt aber auch
Feldeffekttransistoren mit großen Leistungen. Der Transistor BUZ 10 z.B. kann
bei Spannungen von UDS ≈ 50V mit ID ≈
12A...30A betrieben werden.
MOSFET ist die
Abkürzung für Metal Oxide Semiconductor (auch: Silicon) Field Effect Transistor
(engl. für „Metall-Oxid-Halbleiter-/-Silizium-Feldeffekttransistor“).
Historisch
gesehen ist das MOSFET-Prinzip wesentlich länger bekannt als der
Bipolartransistor. Die ersten Patentanmeldungen stammen aus den Jahren 1926
(von Julius Edgar Lilienfeld) und 1934 (Oskar Heil). Die ersten MOSFETs wurden
allerdings erst 1960 gefertigt, als mit dem Silizium/Siliziumdioxid ein
Materialsystem zur Verfügung stand, mit dem sich eine reproduzierbar gute
Halbleiter-Isolator-Grenzfläche herstellen ließ. Damit verbunden war die Abkehr
vom Germanium als Basismaterial und steigende Anforderungen an die
Fertigungsbedingungen (Reinräume, strenge Temperaturregime).

Grundsätzlicher Aufbau am Beispiel eines n-Kanal-MOSFETs:
Als Grundmaterial dient ein schwach p-dotierter Siliziumkristall
(Substrat). In dieses Substrat sind zwei stark n-dotierte Gebiete eingelassen,
die den Source- bzw. Drainanschluss erzeugen. Zwischen den beiden Gebieten
befindet sich weiterhin das Substrat, wodurch eine npn-Struktur entsteht, die
vorerst keinen Stromfluss zulässt. Über
diesem verbleibenden Zwischenraum wird nun eine sehr dünne, widerstandsfähige
Isolierschicht (meist Siliziumdioxid) aufgebracht. Den Gate-Anschluss des
Transistors bildet eine leitende Schicht, die auf diesem Isolierstoff oberhalb
des zukünftigen Kanals aufgetragen wird (Verwendung fand hier früher Aluminium,
heute n+ dotiertes (entartetes) Polysilizum).
Durch diesen Aufbau bilden Gateanschluss, Isolierschicht und
Bulkanschluss einen Kondensator, der beim Anlegen einer Spannung zwischen Gate
und Bulk aufgeladen wird. Dabei wandern im Substrat Minoritätsträger (bei p-Silizium-Elektronen)
an die Grenzschicht und rekombinieren mit den Majoritätsträgern (bei p-Silizium
Löcher). Dies wirkt sich wie eine Verdrängung der Majoritätsträger aus und
wird „Verarmung“ genannt. Ab einer bestimmten Spannung Uth
(Threshold-Spannung, Schwellspannung, Pinch-off-Spannung) ist die Verdrängung
der Majoritätsladungsträger so groß, dass sie nicht mehr für die Rekombination
zur Verfügung stehen. Es kommt zu einer Ansammlung von eigentlichen Minoritäten
wodurch sich das eigentlich p-dotierte Substrat nahe an der Isolierschicht in
einen n-Leiter umwandelt. Dieser Zustand wird starke „Inversion“ genannt. Der
entstandene dünne n-leitende Kanal verbindet nun die beiden n-Gebiete Source
und Drain, wodurch Ladungsträger (beinahe) ungehindert von Source nach Drain
fließen können.
Prinzipiell sind Source- und Drainanschluss zunächst gleichwertig,
meist ist der Aufbau aber nicht symmetrisch, um ein besseres Verhalten zu
erzielen. Außerdem wird bei den meisten Bauformen Bulk intern mit Source
verbunden. Auf die grundlegende Funktion hat die Verbindung keinen Einfluss.
Allerdings entsteht nun zusätzlich eine Diode zwischen Source- und
Drainanschluss, die parallel zum eigentlichen Transistor liegt (Bulk mit dem
p-dotierten Substrat und Drain mit dem n-Gebiet bilden den pn-Übergang). Diese
Diode ist als Pfeil im Schaltsymbol des Mosfets dargestellt und zeigt beim
n-Kanal Mosfet vom Bulkanschluss zum Kanal. In einer Schaltung muss diese Diode
immer in Sperrrichtung gepolt sein, da anderenfalls Drain- und Sourceanschluss
über die Diode dauerhaft leitend verbunden bleiben.
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Wie auch beim Bipolartransistor gibt es zwei komplementäre
Bauformen: n-Kanal-MOSFET und p-Kanal-MOSFET. Diese können jeweils noch in
selbstsperrende (enhancement transistor, „Anreicherungstyp“) und selbstleitende
(depletion transistor, „Verarmungstyp“) Bauformen unterschieden werden.

MOSFET Anreicherungstyp

Der MOSFET befindet sich immer im Sperr-Zustand(deshalb
selbstsperrend), wenn keine positive Spannung zwischen Gate- und
Source-Anschluß anliegt.
Wird zwischen Gate und Source eine positive Spannung UGS angelegt,
dann entsteht im Substrat ein elektrisches Feld. Die Elektronen im p-leitenden
Substrat(viele Löcher, sehr wenige Elektronen) werden vom positiven
Gate-Anschluß angezogen. Sie wandern bis unter das
Siliziumdioxid(Isolierschicht).
Die Löcher wandern in entgegengesetzter Richtung. Die Zone zwischen den
n-leitenden Inseln enthält überwiegend Elektronen als freie Ladungsträger.
Zwischen Source- und Drain-Anschluß befindet sich nun eine n-leitende
Brücke(siehe Bild).
Die Leitfähigkeit dieser Brücke lässt sich durch die Gatespannung UGS
steuern.
Die Vergrößerung der positiven Gatespannung führt zu einer Anreicherung der
Brücke mit Elektronen. Die Brücke wird leitfähiger. Die Verringerung der
positiven Gatespannung führt zu einer Verarmung der Brücke mit Elektronen. Die
Brücke wird weniger leitfähig.
Dadurch das die Siliziumdioxid-Schicht isolierend zwischen Aluminium und
Substrat wirkt, fließt kein Gatestrom IG. Zur Steuerung wird nur
eine Gatespannung UGS benötigt.
Die Steuerung des Stromes ID durch den MOS-FET erfolgt leistungslos.

MOSFET Verarmungstyp

Der eben beschriebene MOSFET ist ein Anreicherungstyp. Er ist
selbstsperrend. Es gibt aber auch MOSFETs als Verarmungstypen. Sie sind
selbstleitend, weil sie schon nach angelegter Spannung UDS leitend
sind. Das wird durch eine schwache n-Dotierung zwischen den n-leitenden
Inseln(Source und Drain) erzeugt. Dieser MOSFET sperrt nur vollständig, wenn
die Gatespannung UGS negativer ist als die Spannung am
Source-Anschluß.
Der selbstleitende MOS-FET wird durch eine negative, wie auch eine positive
Gatespannung UGS gesteuert.

Ein Nachteil des MOSFET liegt in seinen prinzipiell schlechten
Hochfrequenzeigenschaften aufgrund der geringen Oberflächenbeweglichkeit der
Ladungsträger im Kanal, dabei besitzen Elektronen eine höhere Beweglichkeit als
Löcher. Erst durch die extreme Verkleinerung (Skalierung) des Bauelementes in
den Deep-Submikrometerbereich wird der MOSFET für Anwendungen oberhalb von
1 GHz interessant. Ein entscheidender Vorteil gegenüber
Bipolartransistoren ist, dass die Leitfähigkeit zwischen Source und Drain
stromlos (kapazitiv), also leistungslos, gesteuert wird. Er ist außerdem wegen
seines einfachen Herstellungsprozesses besonders für integrierte Schaltungen
geeignet.
In Leistungsanwendungen ist der sog. Power MOSFET hinsichtlich
kurzer Schaltzeiten und geringer Schaltverluste den Bipolartransistoren und
IGBTs überlegen. Er erreicht jedoch nicht deren hohe Sperrspannungen.
Leistungs-MOSFETs auf Silizium-Basis werden vorteilhaft beim Schalten von
Spannungen bis ca. 800 V und Strömen von bis zu mehreren 100 A eingesetzt.
Einsatzgebiete von Silizium-MOSFETs sind u. a. Schaltnetzteile,
Synchrongleichrichter, getaktete Strom- und Spannungsregler und auch starke
Hochfrequenzsender bis in den UKW-Bereich. In Sonderanwendungen werden
Schaltzeiten von nur einigen Nanosekunden bei Spannungen von mehreren Kilovolt
durch Reihenschaltung realisiert.
Grundschaltungen




Weiterhin ist zwischen lateralen und vertikalen Bauformen zu
unterscheiden. Während laterale Transistoren vorwiegend in der
Nachrichtentechnik zum Einsatz kommen, findet sich die vertikale Bauform
überwiegend in der Leistungselektronik wieder. Der Vorteil der vertikalen
Struktur liegt in der höheren möglichen Sperrspannung der Bauelemente (Beispiel
CoolMOS von Infineon). Der CoolMOS stellt dabei eine Weiterentwicklung des
bekannten VMOS dar. Er gehört zu den Kompensations- oder
Super-Junction-Bauelementen.